選用高質量的行星齒輪減速機材料有利於提高其承載能力和使用壽命。

由於減速機的結構特點和負載特點，淬火齒輪應該被廣泛地應用。硬化齒輪的熱處理方法很多。可根據齒輪減速機的特點選擇表麵淬火、整體淬火、滲碳淬火、氮化淬火等。

一、表麵硬化。

常用的表麵淬火方法有高頻淬火(小齒輪用)和火焰淬火(大齒輪用)。在包括齒根在內的硬化層表麵淬火後，效果較好。牙麵硬度可達45-55HRC。

二、氮化。

氮處理可保證齒輪在較小變形情況下，具有較高的硬度和抗磨損性能。經過熱處理，不能很好地精加工，從而提高承載能力。

三、滲碳後硬化。

熱處理淬火齒輪的承載能力相對較高，但為了保證精度，必須采用磨削(磨齒)來消除熱處理變形。

常用在滲碳前碳含量為0.2%-0.3%的合金鋼中進行滲碳和硬化。牙麵硬度一般在58~62HRC之間。在57HRC以下，硬表麵強度會明顯下降；在62HR以上，硬表麵強度會明顯下降；增長。通過計算發現，淬火齒輪的硬度由齒麵向深層逐漸下降，有效滲碳深度為5.25HRC，從齒麵向硬度處滲透。

熱處理淬火不僅能提高鑄件的硬度，而且能使鑄件表麵產生殘餘壓應力，從而提高其抗彎疲勞強度。可降低高壓收縮區的應力，使牙根在磨齒過程中不能磨根。